該渦旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：　　①半導體行業(yè)mdash，mdash，薄膜制備設(shè)備、半導體器件封裝設(shè)備；　　②科學儀器行業(yè)mdash，mdash，同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；　?、蹤C械設(shè)備行業(yè)mdash，mdash，材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；　?、芑瘜W工業(yè)；　?、葆t(yī)療設(shè)備mdash，mdash，牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；　　⑥包裝行業(yè)mdash，mdash，食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備　　該渦旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運行成本降低。因此在國外市場擴展迅速，僅日本一個公司產(chǎn)品在中國z*近3年間銷售額就增長了10倍。是一項不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品?！　”疚目偨Y(jié)了無油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標、特點、基本用途和實際應(yīng)用方法；對無油渦旋真空泵技術(shù)有一個系統(tǒng)的介紹。。

此設(shè)備在運轉(zhuǎn)的時候，兩個轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作同步高速反向旋轉(zhuǎn)，由此來產(chǎn)生吸氣和排氣因為轉(zhuǎn)子經(jīng)過嚴格的動平衡校正，并且兩個輪子間也留下了合理的間隙，因此泵工作時，轉(zhuǎn)子不會相磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，并且工作腔內(nèi)不需潤滑油，消耗功率低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點，特別適用于要環(huán)境及噪音要求比較高的環(huán)境。下面賢集網(wǎng)小編來為大家介紹螺桿真空泵日常操作步驟、吹掃功能、泵機頭的技術(shù)性能主要由哪三個方面的條件來保證？在檢漏時有哪些需要注意的地方？故障分析及解決辦法、清洗的五個步驟、維護保養(yǎng)方法。一起來看看吧！螺桿真空泵日常操作步驟一、開機前的檢查與準備1、檢查真空泵各個部件是否齊全；2、在不同油位視鏡處檢查油位，確認油位在油位視鏡中線偏上約3mm處；3、檢查確認真空機組各個閥門的狀態(tài)；（1）工藝入口閥關(guān)閉（2）入口過濾器排污閥關(guān)閉（3）出口管線暢通，出口管排污閥打開（4）冷卻水入口管線和出口管線閥門打開（5）氮氣線閥門打開，吹掃氣壓力為0.5bar，氮封氣壓力為3bar，吹掃閥關(guān)閉。二、螺桿真空泵的開機操作步驟1、現(xiàn)場與中控聯(lián)系，確認可以啟動，通過現(xiàn)場操作柱啟動按鈕啟動真空泵；2、關(guān)閉出口管排污閥；3、檢查或調(diào)節(jié)氮封氣流量，確認流量在2.5—3L/min；4、打開吹掃閥，確認流量計流量調(diào)至，吹掃5—10分鐘后，關(guān)閉吹掃閥；5、打開工藝入口閥，切入系統(tǒng)；6、真空泵運轉(zhuǎn)過程中，注意觀察機體溫度，可通過溫度調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)水量來控制溫度（溫度調(diào)節(jié)閥位于0刻度時水量，位于5刻度時水量最?。?，要求溫度盡量控制在50——75℃，確保不超過80℃。三、螺桿真空泵的停機操作步驟1、關(guān)閉工藝入口閥，切出系統(tǒng)；2、打開吹掃閥，吹掃20—40分鐘后，關(guān)閉吹掃閥；3、通過現(xiàn)場操作柱停止按鈕停機；4、關(guān)閉氮氣閥門；5、關(guān)閉冷卻水閥門；如冬季長期不用，需排凈機體及管線內(nèi)的冷卻水以防凍；6、打開出口管排污閥和入口過濾器排污閥，檢查是否有冷凝液。螺桿真空泵的吹掃功能一、螺桿真空泵清洗吹掃清洗吹掃對于抽除腐蝕、有毒或是粘稠物，例如樹脂類介質(zhì)尤為重要。清洗吹掃一般在停泵前關(guān)閉真空泵的進氣口閥門，并在進氣口充入氮氣或水蒸氣后運轉(zhuǎn)20～30分鐘，對腔體內(nèi)螺桿進行吹掃，清洗腔體內(nèi)殘留的工藝氣體或表面粘附的粘稠物質(zhì)。二、螺桿真空泵冷卻吹掃冷卻吹掃用于螺桿轉(zhuǎn)子及真空泵內(nèi)部腔體的冷卻。真空泵工作時進氣口吸入的工藝氣體隨著螺桿轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動被壓縮并送到排氣口，壓縮過程中氣體溫度升高，這就需要用冷卻吹掃來保護真空泵不會因為過熱而被卡住。通?？諝鈺挥脕碜鳛槔鋮s吹掃介質(zhì)，但在特殊情況下則用氮氣或冷卻后的工藝氣體作為吹掃介質(zhì)。

為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應(yīng)用常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來，伴隨著我國經(jīng)濟持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。。

8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。水環(huán)式真空泵的使用方法：1、定期向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機油或黃油。2、使用供應(yīng)食品行業(yè)專用水環(huán)式真空泵時，先擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水。特別是機械密封的水環(huán)真空泵（2BV2BE）再啟動電機3、關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進口真空表。4、點動電機，試看電機轉(zhuǎn)向是否正確。5、開動電機，當供應(yīng)食品行業(yè)專用水環(huán)式真空泵正常運轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。6、盡量控制供應(yīng)食品行業(yè)專用水環(huán)式真空泵的流量和真空度在標牌上注明的范圍內(nèi)，以保證供應(yīng)食品行業(yè)專用水環(huán)式真空泵在效率點運轉(zhuǎn)，才能獲得的節(jié)能效果。7、環(huán)式真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，溫度不得超過80C。8、有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。

2．特性曲線　　2SK-P水環(huán)一大氣噴射泵組特性曲線如圖3-19所示。

我們已采用了該系列的另外三個型號并輔以羅茨泵用于過程壓力范圍內(nèi)提高了的抽速和氣體吞吐量由于使用了特殊材料，這些泵的腐蝕性氣體設(shè)備使其還可使用強氧化劑，如NF3。該泵廣泛的溫度范圍使其能夠適應(yīng)各種不同的工藝，如低溫下的鎢沉積或高溫下的氮化物沉積。高效的電機產(chǎn)生低壓力下的能源節(jié)約，并因其高扭矩，在泵停機后提供良好的啟動性能。得益于它們相同的接口和相同的介質(zhì)連接，A3H系列型號可與P系列泵理想兼容。這意味著，如果現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備上發(fā)生工藝改變，通過更換泵，使用z*小的安裝工作就可獲得優(yōu)化的泵解決方案。使用第三級羅茨輔助A1803H型號，可提供緊湊、極其強大的泵站，具有z*大抽速，適合于CVD工藝。AD73KH在空運行流程泵上采用變頻控制的羅茨泵，羅茨泵在其本身的框架內(nèi)具有額定抽速4500m3middot，h-1。由于模塊化結(jié)構(gòu)，安裝很容易，且泵站中的各個泵可單獨取出，并在維修工作進行的情況下進行保養(yǎng)。進氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對過程參數(shù)進行調(diào)整，并允許各種不同的過程氣體。普發(fā)真空不斷監(jiān)測行業(yè)各個領(lǐng)域中工藝的動態(tài)發(fā)展，并在未來將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。

從而使羅茨泵的真空度降低且時大時小必需及時檢修調(diào)整葉輪的間隙及端蓋與泵殼處的間隙?！　〖偃缛~輪轉(zhuǎn)子間隙過小會使羅茨泵內(nèi)的緊縮比增大惹起泵內(nèi)的空氣升溫發(fā)熱很快招致齒輪箱及電機發(fā)熱。兩葉輪轉(zhuǎn)子間隙變小的緣由多為助劑、填料、膠料等物附著在葉輪外表。當呈現(xiàn)這種現(xiàn)象時兩轉(zhuǎn)子嚙合變得過緊以至卡死停機后再啟動時非常艱難或基本不轉(zhuǎn)動燒壞電機的毛病時有發(fā)作。所以必需經(jīng)常清洗泵殼內(nèi)壁和葉輪轉(zhuǎn)子表面面。清洗液可運用5%氫氧化鈉溶液也可運用5%的鹽酸溶液酸洗后再用清水沖洗潔凈以免腐蝕?！　《?、經(jīng)常檢查泵軸的密封狀態(tài)　　泵軸的密封作用是避免泵內(nèi)被緊縮的氣體從泵軸與泵殼體之間漏出同時也避免外界空氣浸入泵內(nèi)。常采用機械密封和反螺旋密封、石棉盤根密封和橡膠密封圈密封。其中機械密封效果。近期東北工業(yè)大學新研制的磁粉密封效果很好。

某些腐蝕性氣體可導致水箱內(nèi)水質(zhì)變差，產(chǎn)生氣泡，影響真空度，故應(yīng)注意不斷循環(huán)換水對特殊強腐蝕性氣體，應(yīng)認真判斷是否與本設(shè)備所使用材料有反應(yīng)，并謹慎使用。特點1.比其它類型真空泵節(jié)電35%以上。2.特制的流體消聲器，減少水中氣體，使真空度更高更穩(wěn)；減少氣液摩擦，降低噪聲。3.雙抽頭、雙表顯，可單獨或并聯(lián)使用。4.耐酸、堿、溶劑腐蝕。真空度上不去應(yīng)首先判斷是否被抽容器泄漏或皮管接動松動。如屬泵的問題，則檢查進水口或各氣路是否堵塞或松動漏氣。循環(huán)水真空泵的電機不轉(zhuǎn)，應(yīng)檢查電源或保險絲。如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機。

該機組是以羅茨真空泵為主泵，以旋片泵為前級泵并配有電磁閥，管路等組成的真空獲得設(shè)備它具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽氣能力大、抽氣時間短等特點。廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空脫氣、真空鍍膜以及空間模擬、低密度風洞等裝置中，以抽除非腐蝕性氣體，還可用于醫(yī)藥、食品、電子、化工等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。其型號及技術(shù)性能見表9-31。。

還可根據(jù)用戶需要配置真空測量儀器或儀表整機結(jié)構(gòu)簡單、操作方便。本機組可廣泛應(yīng)用于電力工業(yè)三大件：變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬工藝，真空鍍膜，真空冶煉，真空熱處理，真空濾油，食品行業(yè)冷凍干燥以及含有少量水蒸氣或少量可凝性氣體、少量粉塵的工藝流程中，對于某些會有較多水分、粉塵的工藝必須配備過濾裝置冷凝器等，另外還可增加一臺雙級水環(huán)泵作粗抽，使大量水分、粉塵由水環(huán)泵抽除，這樣就可延長機組的正常使用壽命，減少前級泵換油次數(shù)，降低使用成本，提高生產(chǎn)效率。表9-22給出了機組型號及技術(shù)參數(shù)。圖9-27為抽速曲線，圖9-28及圖9-29為外形尺寸。。