1、激光器不能開啟2、激光器不能抽真空3、羅茨泵不能運轉或運轉3秒鐘后停車4、高壓不能開啟5、放電不能正常進行6、高壓開啟后立即被過流線路切斷

配件灰塵分離器（SAS）可用作螺桿泵的配件可提供各種類型，以適合于泵上的連接法蘭。D1類型二酯油用作工作液。。

　　干式真空泵至今沒有明確定義，就代替油封式機械泵而言，一般通用的說法是：能在10^5Pa（1大氣壓）mdash，10^-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作；在泵腔內(nèi)不使用任何油類和液體，排氣口與大氣相通，能直接向大氣排氣的泵稱為干式兵空泵，又稱無油真空泵　　干式真空泵種類很多，按工作原理可分為兩類：①容積式干式真空泵，例如：多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等，這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash，10Pa，抽速為0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。②動量傳遞式干式真空泵，例如：渦輪式干泵。排氣側與大氣相接，在粘滯流狀態(tài)下壓縮比較高?？蓮?0^5Pa（1大氣壓）抽到10^-2Pa在結構上采用徑向流和軸向流復合式結構，多級串聯(lián)。這種渦輪式干泵的極限壓力約為10^-2Pa，抽速為0.02msup3，/smdash，0.15msup3，/s牽引型干泵也屬于動量傳輸式干式泵。　　這些干式泵和油封式機械泵相比，在各自的極限壓力條件下，其殘余氣體成分全然不同。分析結果表明，油封泵的殘余氣體，主要成分為CnHm（碳氫化合物），而于式泵的殘余氣體的主要成分為空氣，這就證實了用干式泵抽氣基本上不被油蒸氣污染?！　∮行└墒奖迷诮Y構設計上（例如泵的傳動齒輪和軸承等）仍在使用潤滑油，也有用合成油如PFPE油和其它油脂，不過采取一定的措施可使油蒸氣在泵腔內(nèi)幾乎不存在。嚴格來說這種泵不是全無油泵。經(jīng)分析，這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的，對大多數(shù)電子產(chǎn)業(yè)來講并無影響。

2、單級雙作用水環(huán)泵：單級是指只有一個葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉一周，吸氣、排氣各進行二次在相同的抽速條件下，雙作用水環(huán)泵比單作用水環(huán)泵大大減少尺寸和重量。由于工作腔對稱分布于泵輪轂兩側，改善了作用在轉子上的載荷。此種泵的抽速較大，效率也較高，但極限真空較低。3、雙級水環(huán)泵：雙級水環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。實質上是兩個單級單作用的水環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。4、大氣水環(huán)泵：大氣水環(huán)泵實際是大氣噴射器串聯(lián)水環(huán)泵的機組。水環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高極限真空，擴大泵的使用范圍。。

層的厚度小于1mm根據(jù)要求，吸入室可被磷酸化、使用氮排空以及進行真空密封，以便提供短期表面保護，如用于倉儲和運輸。密封件羅茨真空泵出廠配置FKM制成的O型圈。對于特殊的應用，所有的泵都可配置具體的O型圈或相應應用要求的密封件。。

若通過高溫烘烤除氣后更可獲得10^-8Pa的真空度泵的抽速大，抽速范圍寬（幾升每秒至十幾萬升每秒）。其特點是結構簡單，沒有機械運動部件，使用壽命長，可靠性高，操作與維護方便等。我國制訂有油擴散泵行業(yè)標準。標準規(guī)范了泵的技術性能、型式、參數(shù)、測試方法等。國內(nèi)很多真空生產(chǎn)廠家都有定型的系列（K、KT）產(chǎn)品。新的KTD系列高真空低返油擴散泵具有抽速大（300L/smdash，55000L/s），返油率低[le，6times，10^-4g/（cm^2.s）]的優(yōu)點，該泵將水冷擋油帽和泵體組成一個整體，簡化了結構，并提高了真空抽氣系統(tǒng)的有效抽速。ZK系列高真空油增擴泵按抽氣機理仍屬油擴散泵，它的特點是在1.3times，10^-lPa時仍有較大的抽速，并采用內(nèi)加熱方法，縮短了泵的啟動時間。。

目前，油封式真空泵是國內(nèi)真空獲得技術中應用z*廣的一種泵，它可單獨用作低真空設備的排氣用泵，也可用作高真空排氣時的前級真空泵真空行業(yè)中廣泛使用的油封式機械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。因此，它已在國民經(jīng)濟的很多部門，例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業(yè)部門中發(fā)揮著越來越大的作用。由于油封式真空泵均裝有氣鎮(zhèn)裝置，故也可以抽除潮濕氣體。但現(xiàn)在還不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對黑色金屬有腐蝕性，對泵密封油起化學作用、及含有顆?；覊m的氣體。　　　　目前，國內(nèi)的許多研究單位和生產(chǎn)廠家正在設計和生產(chǎn)出抽除水蒸氣和耐腐蝕的油封真空泵系列。隨著新技術、新材料的發(fā)展和應用，性能更好的、能滿足各種工業(yè)需要的、適應能力強的各種油封式真空泵必將生產(chǎn)出來。。

　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。

②裝油分離器、離心式分離器或油水分離器，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再流入泵中使用③使用吸水性強的干燥劑，如五氧化二磷、三氧化二鋁、氯化鈣、分子篩等做成捕集阱吸收水蒸氣。各種干燥劑性能見表9-6。④使用前級吸附阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，還可阻擋機械泵油向高真空室的返流。工業(yè)上常用前兩種方法，實驗室及小型抽氣系統(tǒng)常用后兩種方法。。

由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應用日益增多。