廈門西門子真空泵其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求，4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。近年來，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。

廈門渦旋泵3、TRP型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-64。

廈門真空脫泡然后，擰緊排油閥.擰下加油孔上的加油帽，向真空泵內(nèi)加入新的真空泵油，使油面達到油標線，再旋上加油帽旋片式真空泵的使用注意事項1、開箱，檢查泵在運抽中是否擔壞，是否符合出廠要求。2、先擰開加油螺塞，從加油孔中加油至油標2/3（因出廠運輸關(guān)系，真空泵腔內(nèi)無泵油灌入），后從進氣管孔內(nèi)加入少許泵油（可能出廠時間太長引起泵腔內(nèi)干燥）為加強泵腔內(nèi)潤滑。油位過低對排氣閥不能起封閉作用，影響真空度，過高可能會引起噴油。泵油采用石化行業(yè)礦物油型真空泵油標準號為SH0528牌號，配用HFV-N1100，HFV-N1200HFV-A100.SV-68等。3、按規(guī)定接上三相電源線，三相電機要注意電機旋轉(zhuǎn)方向與泵支架上的箭頭方向一致，單相電機直接插上電源插座即可，試運轉(zhuǎn)一下，再開始正常工作。4、與泵進氣管口的連接管道不宜過長，千萬注意要檢查真空泵外連接管道、接頭及容器絕對不能漏氣，要密封。否則會影響極限真空及真空泵使用壽命。5、泵的工作環(huán)境:溫度5℃~40℃范圍內(nèi)，相對濕度不大于85%，進氣口壓力1.3*103帕的條件下工作。對抽速在0.5升/秒以上真空泵，均裝有氣鎮(zhèn)閥。如相對濕度較高，可打開氣鎮(zhèn)閥凈化，可抽除少量水蒸氣而不會污染泵油，廷長泵油使用時間，凈化完畢后及時關(guān)死。

水循環(huán)真空泵價格2，小心地取下彈簧和毛氈墊片然后再取出紙質(zhì)過芯3、用毛刷除過濾芯折縫里的灰塵和異物，然后用手將其平放輕拍使剩余的灰塵落下，擦去外殼內(nèi)壁的灰塵及纖維墊上的灰塵。4、按拆卸時相反的順序?qū)⒁亚鍜吒蓛艋蛐碌倪^濾芯裝回去。

廈門干式爪泵在2000年以前，我國能生產(chǎn)抽氣量在100m3／min以上的水環(huán)式真空泵僅3-4個企業(yè)，全國年產(chǎn)量也不過幾十臺而僅過了三年，到2003年全國能生產(chǎn)100m3／min以上的大泵的廠家達10多家（其中僅淄博地區(qū)就有7--8家），據(jù)不完全統(tǒng)計，全國的大泵的產(chǎn)量達幾百臺以上，這些產(chǎn)品主要應(yīng)用于：　　　?。?）煤礦行業(yè)　　　　由于國家加強了對煤礦的安全要求，因而用水環(huán)式真空泵，特別是大型水環(huán)式真空泵抽除瓦斯氣體已成為煤礦行業(yè)必須的安全要求，例如去年陜西某礦務(wù)局訂購的多臺抽氣量達400m3／min的特大型水環(huán)真空泵就是用以抽除瓦斯氣體，有的一個大型煤礦使用100m3／min以上的大泵就達7--8臺。隨著國家對安全工作進一步加強，大型、特大型水環(huán)式真空泵將在煤礦系統(tǒng)得到越來越廣泛的應(yīng)用?！　　　〈送猓捎诿禾慨a(chǎn)量的飛速增加，煤礦的洗、選煤所用的真空過濾機也向大型化方面發(fā)展，在八十年代大多配抽氣量為27m3／min的SZ-4型水環(huán)式真空泵，這在當時也是較大的。而近幾年煤礦的過濾機都選配抽氣量為80--150m3／min的大型水環(huán)真空泵，有的達到200m3／min以上，而且還有氣量繼續(xù)增大的趨勢?！　　　。?）化工行業(yè)　　　　a）氯堿行業(yè)　　　　近幾年來我國啟動了許多大型的基本建設(shè)和技術(shù)改造項目，這些項目的實童都需要大量的聚氯乙烯材料，特別是房地產(chǎn)的興旺，更加推動了聚氯乙烯行業(yè)的發(fā)展，據(jù)氯堿行業(yè)的統(tǒng)計，我國去年生產(chǎn)了410萬噸聚氯乙烯，進口了200可噸。據(jù)該行業(yè)的預(yù)測，2005年的全國需求量將達800萬噸，而到了2010年將達到1500萬噸，正是因為需求量高速增加，使得我國的氯堿行業(yè)的企業(yè)加改造擴產(chǎn)，并且近一、二年新上了許多企業(yè)。氯堿企業(yè)的發(fā)展，必須配套水陜空泵和水環(huán)壓縮機j用以抽除和壓縮乙炔和氫氣的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機過去z*大也不過30m3／min，而現(xiàn)在年產(chǎn)10萬噸燒堿和10萬噸聚氯乙烯的企業(yè)，需要的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機達70m3／min以上。　　　　在這里需要特別介紹的是，正是由于這個行業(yè)的發(fā)展，推動和加快了較高I力水環(huán)壓縮機的開發(fā)和生產(chǎn)?！　　　￠L期以來，我國的水環(huán)壓縮機一般是當吸入壓力為1個大氣壓或略低于呔氣壓時，排除壓力為O.1MPa，即壓縮比為2，個別企業(yè)生產(chǎn)過排除壓力達25MPaG的水環(huán)壓縮機，而且僅1--2個規(guī)格。為了適應(yīng)聚氯乙烯的生產(chǎn)，91原國務(wù)院重大裝備辦公室在ldquo，八五重大技術(shù)裝備攻關(guān)項目--年產(chǎn)4噸低聚合度聚氯乙烯裝置設(shè)備研制中提出了氯乙烯回收水環(huán)壓縮機的研制攻關(guān)課題，這種回收氯乙烯單體的水環(huán)壓縮機要求在吸入壓力為常壓或微負壓的情況下，排出壓力要達到O.55-0.6MPaG，而且排氣量要達到700m3／min。

其工作原理類似于具有雙齒齒輪的齒輪泵，該泵從將氣體從入口（3）泵送到出口（12）一個軸由電機（1）驅(qū)動。另一軸通過齒輪室中的一對齒輪（6）同步進行。潤滑僅限于兩個軸承和齒輪室，它們通過具有壓縮環(huán)的迷宮密封（5）與吸入室（8）密封開來。由于吸入室中無摩擦，羅茨真空泵可在高轉(zhuǎn)速（1500ndash，3000rpm）下操作。無往復運動質(zhì)量還能提供無故障的動態(tài)平衡，這意味著，羅茨真空泵的運轉(zhuǎn)極其安靜，盡管其具有高轉(zhuǎn)速。設(shè)計轉(zhuǎn)子軸軸承安排在兩個側(cè)蓋中。它們在一側(cè)被設(shè)計為固定軸承，在另一側(cè)被設(shè)計為可動（松動）軸承，以實現(xiàn)殼體和轉(zhuǎn)子之間不平衡熱膨脹。軸承使用通過飛濺圓盤置換到軸承和齒輪的油進行潤滑。標準版本上驅(qū)動軸饋通與外部通過浸入在密封油中、由FPM制成的徑向軸密封環(huán)密封。為保護軸，密封環(huán)在保護套上運行，該保護套在磨損后可更換。

本機組可廣泛應(yīng)用于電力工業(yè)三大件：變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬工藝，真空鍍膜，真空冶煉，真空熱處理，真空濾油，食品行業(yè)冷凍干燥以及含有少量水蒸氣或少量可凝性氣體、少量粉塵的工藝流程中，對于某些會有較多水分、粉塵的工藝必須配備過濾裝置冷凝器等，另外還可增加一臺雙級水環(huán)泵作粗抽，使大量水分、粉塵由水環(huán)泵抽除，這樣就可延長機組的正常使用壽命，減少前級泵換油次數(shù)，降低使用成本，提高生產(chǎn)效率表9-22給出了機組型號及技術(shù)參數(shù)。圖9-27為抽速曲線，圖9-28及圖9-29為外形尺寸。。

一、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在工作中排氣口冒煙或許噴油1、冒煙，假如是泵剛剛開始工作有冒煙的表象，歸于正常，假如長時間在冒煙即是不正常了。處理之道：冒煙闡明泵的進氣口外，包含管道、閥門、容器有修補的狀況。檢漏今后處理了，冒煙會結(jié)束。渦街流量計2、噴油，闡明進氣口外有許多的漏點，甚至是進氣口暴露大氣。處理之道：封住泵的進氣口使泵工作，假如不噴油的話，闡明有漏點，排氣閥片損壞，查看排氣閥片是不是損壞，替換壞的排氣閥片。二、旋片式真空泵噪音：這兒指泵的噪音。1、敲缸，泵工作時宣布不規(guī)則的響聲，似金屬擊打金屬的聲響。這是旋片在擊打泵體宣布的聲響。這種狀況首要是配對旋片間的繃簧斷或許是收縮或彈出失效形成的。處理之道：翻開泵查看旋片繃簧是不是損壞。

近年來，水冷螺桿泵和下節(jié)中描述的多級羅茨泵已經(jīng)取代越來越多的先前在高抽速段（100ndash，600m3middot，h-1）中占主導地位的油潤滑旋片式真空泵螺桿泵的優(yōu)勢包括：■■在氣體置換區(qū)域沒有潤滑劑■■被泵送介質(zhì)無任何污染■■無工作液處理問題■■因內(nèi)部壓縮而產(chǎn)生的較高效率■■在1和1000hPa之間幾乎恒定的抽速?！觥隽己玫囊后w和灰塵耐受性■■羅茨泵理想的前級泵這使得HeptaDry螺桿泵非常適合于化學應(yīng)用或產(chǎn)生灰塵的工藝，如用于晶體生長或如果產(chǎn)生大量的冷凝物。在恒溫冷卻中，水流量將取決于以下參數(shù)：入口壓力、氣體類型、轉(zhuǎn)速和泵大小。由于水流冷卻，幾乎沒有熱被耗散到大氣中。這減少了任何現(xiàn)有空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的熱負荷并降低其能量消耗。初級螺桿泵的應(yīng)用概述：■■干燥、冷凍干燥■■電子束焊接■■冶金■■涂料■■預(yù)真空鎖■■化學應(yīng)用。

它除了具有一般羅茨真空泵水環(huán)泵機組的某些特點外，由于采用氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵作為主泵或中間泵，因而能在高壓縮比，高壓差下正常工作，這樣就大大縮短了對系統(tǒng)的預(yù)抽時間，獲得較低的預(yù)抽壓力JZJLS型氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵水環(huán)泵機組由于采用雙級水環(huán)真空泵作為前級泵，因而本機組特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性及可凝性氣體的工藝過程中，例如電力工業(yè)三大件電力電容器、變壓器、電纜的真空浸漬、真空干燥，化工產(chǎn)品的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、脫水結(jié)晶，輕紡工業(yè)的滌綸切片干燥等。表9-23給出了JZJLS真空機組型號及技術(shù)參數(shù)。圖9-30為該機組抽速曲線。。